在電子元器件的生產(chǎn)過程中,無論是清洗用水,還是溶液、漿料,都需要使用超純水。集成電路的生產(chǎn)工藝是蝕刻和清洗反復進行,清洗是半導體制程中重要的一環(huán),目的是為了清洗原材料及半成品上可能存在的雜質(zhì)。數(shù)據(jù)顯示,每生產(chǎn)一片集成塊需要消耗超純水3-5升,平均一個6英寸的晶片需消耗1.2噸的超純水。全球半導體設備中80%為晶圓加工制造設備,清洗設備在其中占比約為8%。作為超純水的主要需求方,微電子業(yè)的迅速發(fā)展將很大推動超純水行業(yè)的增長。(數(shù)據(jù)來源:國泰君安產(chǎn)業(yè)觀察)
與普通生活用水不同,超純水一般用于科學研究、工業(yè)制造等高品質(zhì)用水領域。超純水指將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。超純水的電阻率大于18MΩ·cm,接近18.3MΩ·cm極限值?!俺儭睆娬{(diào)了水中各類型的污染物被去除至近乎于零的含量,和常用的術語“去離子水”不同,除了常規(guī)的表征電解質(zhì)含量的指標(電導率或電阻率)外,根據(jù)應用的不同還包括有機物和無機化合物、溶解和顆粒物質(zhì)、細菌及溶解氣體等指標。
采用“原水來水+疊片過濾器+超濾裝置+板式換熱器+極限分離系統(tǒng)+UV+微米過濾器+EDI裝置+TOC+氮封純水箱”工藝,膜系統(tǒng)通過震動技術增大膜表面的剪切力,防止污染物在膜表面沉積,從而實現(xiàn)較高的流速,可以處理較高固含量的物料,實現(xiàn)了進一步濃縮及更高的回收率。通過極限分離系統(tǒng)的低能耗優(yōu)勢,大大降低了RO濃水回用系統(tǒng)的運行成本,達到了水資源回用的目的,而且減少了廢水排放。其技術優(yōu)勢如下:
1、系統(tǒng)運行可靠性穩(wěn)定,水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。
2、運行成本低,操作及維護簡單,無需接觸酸堿。
3、占地面積小,自動化程度高。
4、無污水排放,無環(huán)境污染,使用安全及環(huán)境良好。
隨著國家對環(huán)保及微電子行業(yè)的重視,超純水的需求潛力逐漸展現(xiàn)出來,產(chǎn)業(yè)機會眾多。萊特萊德?lián)碛卸囗棾兯畬S媚ず诵募夹g,專業(yè)量身定制水處理方案,可將水質(zhì)達到18.2MΩ、溶解氧含量3~10ug/L,完全符合電子行業(yè)用水需求。
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