能源、材料和信息被認(rèn)為是新興新技術(shù)革命的三大支柱。在材料方面,電子材料的發(fā)展尤為引人注目。以大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路為核心的計(jì)算機(jī)的出現(xiàn),極大地促進(jìn)了現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)各方面的發(fā)展。一個(gè)個(gè)劃時(shí)代的半導(dǎo)體生產(chǎn)新工藝、新材料、新儀器不斷涌現(xiàn),迅速成為生產(chǎn)力和生產(chǎn)工具,極大地推動(dòng)了集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
半導(dǎo)體材料成為集成電路發(fā)展的重要基石
半導(dǎo)體數(shù)字集成電路、模擬集成電路、存儲(chǔ)器、專用集成電路和微處理器,無(wú)論是在集成度和穩(wěn)定可靠性的提高方面, 還是在生產(chǎn)成本不斷降低方面都上了一個(gè)又一個(gè)新臺(tái)階,它極大地促進(jìn)了人類在生物工程、航空航天、工農(nóng)業(yè)、商業(yè)、科技、教育、科技等領(lǐng)域的全面發(fā)展,極大地促進(jìn)和豐富了人們的日常生活。半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展水平是衡量一個(gè)國(guó)家經(jīng)濟(jì)實(shí)力和科技進(jìn)步的主要標(biāo)志之一。因此可以說(shuō),半導(dǎo)體材料是集成電路發(fā)展的重要基石,隨著科技的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于用水水質(zhì)的要求也越來(lái)越高。
超純水設(shè)備助力半導(dǎo)體企業(yè)蓬勃發(fā)展
半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)的時(shí)候需要大量的清洗水,隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對(duì)清洗水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來(lái)越嚴(yán)格。由于半導(dǎo)體用超純水對(duì)多項(xiàng)指標(biāo)的高要求,所以在半導(dǎo)體行業(yè),超純水不同于其他行業(yè)對(duì)水的要求,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水有極為嚴(yán)格的水質(zhì)要求。目前我國(guó)常用的超純水標(biāo)準(zhǔn)為國(guó)標(biāo)《電子級(jí)水》(GB/T 11446.1-2013)及美標(biāo)《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13),美標(biāo)對(duì)指標(biāo)更為嚴(yán)格。
超純水設(shè)備可以連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,水質(zhì)穩(wěn)定在ppt級(jí)別,尤其是硼離子可以≤5ppt,能夠更好助力半導(dǎo)體企業(yè)的發(fā)展,形成更強(qiáng)大的企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。
超純水設(shè)備在設(shè)計(jì)上采用成熟、可靠、自動(dòng)化程度高的兩級(jí)RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后出水電阻率達(dá)到18 MΩ.CM以上。EDI處理裝置廢水產(chǎn)出量少,不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染,有非常高的環(huán)境效益、經(jīng)濟(jì)效益。精混床經(jīng)過(guò)技術(shù)升級(jí)后,無(wú)需任何操作能夠穩(wěn)定運(yùn)行兩年,其出水水質(zhì)能滿足芯片生產(chǎn)用水的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),降低企業(yè)生產(chǎn)的風(fēng)險(xiǎn)和成本。有了EDI超純水設(shè)備“強(qiáng)力助陣” 半導(dǎo)體行業(yè)景氣度將持續(xù)高漲。
半導(dǎo)體是集成電路產(chǎn)業(yè)重要的組成部分,是國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。目前,以移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)為基礎(chǔ)的物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,在此推動(dòng)下,可穿戴式裝置、醫(yī)療電子、移動(dòng)終端,智能電網(wǎng)、智能交通、智慧城市等新型移動(dòng)裝置和新型應(yīng)用領(lǐng)域蓬勃興起,從而又進(jìn)一步促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,而超純水設(shè)備的不斷發(fā)展,也有效推動(dòng)了我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。
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